免费视频 有东谈主说，哈工大获奖的“放电等离子体极紫外光刻光源”处于什么水平？ 我

有东谈主说免费视频，哈工大获奖的“放电等离子体极紫外光刻光源”处于什么水平？

我看了一下，光源焦点功率43瓦，应该还没到能用的进度。ASML最近两代光刻机光源功率在250瓦-500瓦，况且ASML当前能提供接近600瓦的极紫外光源。不外，哈工大遴荐的是DPP决议和ASML的LPP决议比拟光源的革新成果更高，不外DPP要擢升光源功率难度更大一些，况且现存极紫外光刻机的光源齐是LPP。

虽然，既然哈工大取舍了DPP阶梯，依然期待哈工大能给咱们更多惊喜，毕竟要买通这条充满了迷雾和未知的路，依然得靠这些安份守己的科研东谈主员。

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